不了解掃描電鏡能譜一體機的趕緊往這里看了

　　能譜儀（Energy Dispersive Spectroscopy）簡稱能譜，用于樣品微區元素的成分和含量分析，常與掃描電鏡（SEM）或者透射電鏡（TEM）搭配使用。經常使用掃描電鏡可以知道，我們只要在樣品表面選擇感興趣的區域，點擊開始便可以獲得樣品表面元素成分及含量信息，非常的簡單快捷。
　　掃描電鏡能譜一體機原理是從電子槍中發射出高能電子束撞擊樣品表面，與原子的內層電子發生非彈性散射作用時，使原子發生電離，從而使原子失去一個內層電子而變成離子，并在該電子層對應位置產生一個空穴，原子為了恢復到穩定態，較外層的電子就會填補到這個空穴，在填補過程中同時會產生具有特征能量的X射線，探測器接收到這些特征X射線后，經過分析處理轉換得到分析數據輸出。
　　當高能入射電子將原子的K層電子撞擊出來時同時會形成一個空穴，原子為了恢復到穩定態，較外層的電子便會填充到K層的空穴中。如果是L層的電子填充K層的空穴，在此過程中會發射出Ka的X射線；如果是M層的電子填充K層的空穴，在此過程中會發射出Kβ的X射線；當入射電子將原子的L層電子撞擊出來后，原子為了恢復到穩態這時位于L層以外的電子就會填補到L層上的空穴若M層電子填補到L層，則會發射出Lx的X射線。
　　掃描電鏡能譜一體機入射電子受樣品的散射與樣品的原子進行能量交換，使樣品原子的外層電子受激發而逸出樣品表面，這些逸出樣品表面的電子就叫二次電子。還有一部分二次電子是背散射電子逸出樣品表面時激發的，在成像時形成本底。從樣品得到的二次電子產率既與樣品成分有關，又與樣品的表面形貌有更密切的關系。